1. Sputtervoorbereiding
Het is erg belangrijk om de vacuümkamer, vooral het sputtersysteem, schoon te houden.Eventuele resten die worden gevormd door smeerolie, stof en eerdere coatings zullen waterdamp en andere verontreinigende stoffen verzamelen, wat een directe invloed heeft op de vacuümgraad en de kans op falen van de filmvorming vergroot.Kortsluiting of vonkoverslag, ruw filmoppervlak en overmatig gehalte aan chemische onzuiverheden worden vaak veroorzaakt door een onreine sputterkamer, sputterpistool en target.Om de samenstellingseigenschappen van de coating te behouden, is het noodzakelijk om het sputtergas (argon of zuurstof) te reinigen en te drogen.Nadat het substraat in de sputterkamer is geïnstalleerd, moet de lucht worden afgezogen om het voor het proces vereiste vacuüm te bereiken.Ook de afschermkap in de donkere ruimte, de spouwmuur en het aangrenzende oppervlak moeten schoon worden gehouden.Bij het reinigen van de vacuümkamer adviseren wij het gebruik van glaskogelstralen om de stoffige delen te behandelen, samen met perslucht om de vroege sputterresten rond de kamer te verwijderen, en vervolgens het buitenoppervlak rustig te polijsten met met aluminiumoxide geïmpregneerd schuurpapier.Na het polijsten van het gaaspapier wordt het gereinigd met alcohol, aceton en gedeïoniseerd water.Samen pleit het voor het gebruik van industriële stofzuigers voor aanvullende reiniging.De door Gaozhan Metal geproduceerde doelen zijn verpakt in vacuümverzegelde plastic zakken,
Ingebouwde vochtbestendige agent.Wanneer u het doel gebruikt, raak het doel dan niet rechtstreeks met uw hand aan.Let op: draag bij gebruik van het doel schone en pluisvrije onderhoudshandschoenen.Raak het doel nooit rechtstreeks met uw handen aan
2. Doelreiniging
Het doel van doelreiniging is het verwijderen van stof of vuil dat zich op het oppervlak van het doel kan bevinden.
Het metalen doel kan in vier stappen worden gereinigd,
De eerste stap is het reinigen met een pluisvrije, zachte doek gedrenkt in aceton;
De tweede stap is vergelijkbaar met de eerste stap, schoonmaken met alcohol;
Stap 3: reinigen met gedeïoniseerd water.Na het wassen met gedeïoniseerd water plaatst u het doel in de oven en droogt u het gedurende 30 minuten op 100 ℃.
Het reinigen van oxide- en keramische doelen moet worden uitgevoerd met een “pluisvrije doek”.
De vierde stap is het wassen van het doel met argon met hoge druk en laag watergas na het verwijderen van het stoffige gebied, om alle onzuiverheidsdeeltjes te verwijderen die een boog kunnen vormen in het sputtersysteem
3. Doelapparaat
Tijdens het installatieproces van het doel zijn belangrijke voorzorgsmaatregelen het verzekeren van een goede thermische geleidingsverbinding tussen het doel en de koelwand van het sputterpistool.Als de kromtrekking van de koelstaaf ernstig is of de kromming van de achterplaat ernstig is, zal het doelapparaat barsten of buigen, en zal de thermische geleidbaarheid van het achterste doel naar het doel sterk worden beïnvloed, wat resulteert in het mislukken van de warmteafvoer tijdens het sputterproces, en het doel zal barsten of missen
Om de thermische geleidbaarheid te garanderen, kan een laag grafietpapier tussen de kathodekoelwand en het doel worden opgevuld.Let erop dat u zorgvuldig de vlakheid van de koelwand van het gebruikte sputterpistool controleert en duidelijk maakt, om er zeker van te zijn dat de O-ring altijd op zijn plaats zit.
Omdat de reinheid van het gebruikte koelwater en het stof dat tijdens de werking van de apparatuur kan ontstaan, in de kathodekoelwatertank worden afgezet, is het noodzakelijk om de kathodekoelwatertank te controleren en schoon te maken bij het installeren van het doel om de vlotte werking te garanderen. circulatie van koelwater en dat de inlaat en uitlaat niet geblokkeerd worden.
Bij sommige kathodes is een kleine ruimte met de anode gepland, dus bij het installeren van het doel moet ervoor worden gezorgd dat er geen aanraking of geleider is tussen de kathode en de anode, anders ontstaat er kortsluiting.
Raadpleeg de gebruikershandleiding van de apparatuur voor informatie over hoe u het doel correct bedient.Als dergelijke informatie niet in de gebruikershandleiding staat, probeer dan het apparaat te installeren volgens de relevante suggesties van Gaozhan metal.Wanneer u de doelbevestiging vastdraait, draait u eerst één bout met de hand vast en vervolgens een andere bout diagonaal met de hand.Herhaal dit totdat alle bouten van het apparaat zijn vastgedraaid en draai dan met iets vast.
4, Kortsluiting en dichtheidsinspectie
Na voltooiing van het doelapparaat is het vereist om de kortsluiting en dichtheid van de gehele kathode te controleren,
Voorgesteld wordt om met behulp van een weerstandsmeter vast te stellen of er sprake is van kortsluiting in de kathode
Rij-discriminatie.Nadat is bevestigd dat er geen kortsluiting in de kathode is, kan lekdetectie worden uitgevoerd en kan water in de kathode worden geïntroduceerd om te bevestigen of er sprake is van waterlekkage.
5, Doelvoorsputteren
Doelvoorsputteren pleit voor puur argonsputteren, dat het oppervlak van het doel kan reinigen.Wanneer het doel vooraf wordt gesputterd, wordt aanbevolen om het sputtervermogen langzaam te verhogen, en de vermogenstoenamesnelheid van het keramische doel is 1,5WH / cm2.De voorsputtersnelheid van een metalen doel kan hoger zijn dan die van een keramisch doelblok, en een redelijke vermogenstoename is 1,5WH / cm2.
Tijdens het voorsputteren moeten we de boogvorming van het doel controleren.De voorsputtertijd bedraagt in het algemeen ongeveer 10 minuten.Als er geen boogvorming optreedt, verhoog dan voortdurend het sputtervermogen
Tot het ingestelde vermogen.Volgens de ervaring is het aanvaardbare Z-hoge sputtervermogen van een metalen doel
25watt/cm2, 10watt/cm2 voor keramisch doel.Raadpleeg de instellingsbasis en ervaring met de druk in de vacuümkamer tijdens het sputteren in de gebruikershandleiding van het systeem.Over het algemeen moet ervoor worden gezorgd dat de watertemperatuur aan de uitlaat van koelwater lager is dan 35 ℃, maar Z het is belangrijk om ervoor te zorgen dat het circulatiesysteem van koelwater effectief kan werken
De snelle circulatie van onderkoeld water neemt warmte weg, wat een belangrijke garantie is voor continu sputteren met hoog vermogen.Voor metalen doelen wordt over het algemeen aanbevolen dat de koelwaterstroom gelijk is
20 lpm waterdruk is ongeveer 5 gmp;Voor keramische doelen wordt over het algemeen aanbevolen dat de waterstroom 30 lpm is en de waterdruk ongeveer 9 gmp
6, Doelonderhoud
Om kortsluiting en vonkoverslag veroorzaakt door onreine holtes in het sputterproces te voorkomen, is het noodzakelijk om het sputteren dat zich in het midden en aan beide zijden van het sputterspoor heeft opgehoopt, stapsgewijs te verwijderen.
Dit helpt gebruikers ook om continu te sputteren met een hoge vermogensdichtheid
7, Doelopslag
De door Gaozhan Metal geleverde doelen zijn verpakt in dubbellaagse vacuüm plastic zakken.Wij pleiten ervoor dat gebruikers de doelen, of ze nu van metaal of keramiek zijn, in vacuümverpakking bewaren.In het bijzonder moeten de bindingsdoelen onder vacuümomstandigheden worden bewaard om te voorkomen dat de oxidatie van de bindingslaag de bindingskwaliteit beïnvloedt.Wat betreft de verpakking van metalen doelen pleiten wij ervoor dat Z verpakt wordt in schone plastic zakken
Posttijd: 13 mei 2022