Veel gebruikers beschouwen de aanschaf van doelen niet vanuit professioneel oogpunt, dus waar moet op worden gelet bij het kopen van doelen?Laten we de Xiaobian uit Peking Ruichi vragen om te wijzen op de zaken die aandacht behoeven bij het kopen van doelen.
Ten eerste is de zuiverheid voor het doelwit een van de belangrijkste functionele indicatoren, en de zuiverheid van het doelwit heeft een grote invloed op de functie van de latere productfilm.Elk product stelt ook andere eisen aan de zuiverheid van het doelwit.
Ten tweede het onzuiverheidsgehalte van individuele elementen in het doelwit.Na een reeks doelbewerkingen zijn de onzuiverheden in de vaste stof en de zuurstof en waterdamp in de poriën de belangrijkste bronnen van vervuiling van de afgezette films.Vanwege de verschillende toepassingen van doelen zijn de vereisten voor verschillende onzuiverheidsgehalten van doelen met verschillende toepassingen ook verschillend.Doelen van puur aluminium en aluminiumlegeringen die in de halfgeleiderindustrie worden gebruikt, stellen nu bijvoorbeeld speciale eisen aan het gehalte aan alkalimetalen en radioactieve elementen.
Dichtheid is ook een van de belangrijke prestatie-indexen van het doel. In het technische proces van het doel moet het doel over het algemeen een hoge dichtheid hebben om de poriën in de vaste stof te verminderen en de functie van de gesputterde film te verbeteren.De belangrijkste karakteristieke dichtheid van het doel heeft een grote invloed op de sputtersnelheid en beïnvloedt de elektrische en optische functies van de film.Hoe hoger de doeldichtheid, hoe beter de functie van de film.
Tenslotte de korrelgrootte en korrelverdeling.Meestal is het doelmateriaal polykristallijn en kan de korrelgrootte variëren van micron tot millimeter.Voor hetzelfde doel is de sputtersnelheid van een fijnkorrelig doel sneller dan die van een grofkorrelig doel;De dikte van de films die zijn afgezet door doelsputteren met een klein verschil in korrelgrootte (uniforme dispersie) is uniformer.
Posttijd: 10 juni 2022