Gesputterde doelmaterialen stellen tijdens het gebruik hoge eisen, niet alleen aan zuiverheid en deeltjesgrootte, maar ook aan uniforme deeltjesgrootte.Deze hoge eisen zorgen ervoor dat we meer aandacht besteden aan het gebruik van sputterdoelmaterialen.
1. Sputtervoorbereiding
Het is erg belangrijk om de vacuümkamer schoon te houden, vooral het sputtersysteem.Smeermiddelen, stof en eventuele resten van eerdere coatings kunnen verontreinigende stoffen zoals water ophopen, wat het vacuüm rechtstreeks aantast en de kans op falen van de filmvorming vergroot.Kortsluiting, vonkoverslag, ruwe filmvormende oppervlakken en overmatige chemische onzuiverheden worden meestal veroorzaakt door onreine sputterkamers, geweren en doelen.
Om de samenstellingseigenschappen van de coating te behouden, moet het sputtergas (argon of zuurstof) schoon en droog zijn.Na het installeren van het substraat in de sputterkamer moet er lucht worden afgezogen om het vereiste vacuümniveau voor het proces te bereiken.
2. Doelgerichte reiniging
Het doel van doelreiniging is het verwijderen van stof of vuil dat zich op het oppervlak van het doel kan bevinden.
3. Doelinstallatie
Het belangrijkste waar u tijdens het installatieproces van het doelmateriaal op moet letten, is het zorgen voor een goede thermische verbinding tussen het doelmateriaal en de koelwand van het sputterpistool.Als de koelwand of achterplaat ernstig kromgetrokken is, kan dit scheuren of buigen veroorzaken tijdens de installatie van het doelmateriaal.De warmteoverdracht van het achterste doel naar het doelmateriaal zal sterk worden beïnvloed, wat resulteert in het onvermogen om warmte af te voeren tijdens het sputteren, wat uiteindelijk leidt tot scheuren of afwijkingen van het doelmateriaal.
4. Kortsluiting en afdichtingsinspectie
Na de installatie van het doelmateriaal is het noodzakelijk om de kortsluiting en afdichting van de gehele kathode te controleren.Het wordt aanbevolen om een ohmmeter en een megohmmeter te gebruiken om te bepalen of de kathode kortgesloten is.Nadat is bevestigd dat de kathode niet is kortgesloten, kan een lekdetectie worden uitgevoerd door water in de kathode te injecteren om te bepalen of er sprake is van lekkage.
5. Doelmateriaal voorsputteren
Het wordt aanbevolen om puur argongas te gebruiken voor het vooraf sputteren van het doelmateriaal, waardoor het oppervlak van het doelmateriaal kan worden gereinigd.Het wordt aanbevolen om het sputtervermogen langzaam te verhogen tijdens het pre-sputterproces voor het doelmateriaal.De kracht van het keramische doelmateriaal
Posttijd: 19-okt-2023