Veel vrienden over het onderhoud van het doelwit, er zijn min of meer vragen, de laatste tijd zijn er ook veel klanten die overleggen over het onderhoud van het doelwit, gerelateerde problemen, laat de redacteur van RSM ons vertellen over sputterende kennis over het onderhoud van het doelwit.
Hoe moeten sputterdoelen worden gehandhaafd?
1, Doelonderhoud
Om kortsluiting en boogvorming veroorzaakt door onreine holtes in het sputterproces te voorkomen, is het noodzakelijk om periodiek de sputters te verwijderen die zich in het midden en aan beide zijden van de sputterbaan hebben verzameld, wat gebruikers ook helpt continu te sputteren met een hoge vermogensdichtheid.
2, Doelopslag
We raden gebruikers aan het doel (van metaal of keramiek) in een vacuümverpakking op te slaan, vooral het passende doel moet in vacuüm worden bewaard om te voorkomen dat de oxidatie van de paslaag de paskwaliteit beïnvloedt.Wat de verpakking van metalen doelen betreft, raden wij aan deze in ieder geval in schone plastic zakken te verpakken.
3. Doelreiniging
De eerste stap is het reinigen met een pluisvrije, zachte doek gedrenkt in aceton;
De tweede stap is vergelijkbaar met de eerste stap, schoonmaken met alcohol;
Stap 3: reinigen met gedeïoniseerd water.Na reiniging met gedeïoniseerd water wordt het doel in de oven geplaatst en gedurende 30 minuten bij 100 ℃ gedroogd.Er wordt aanbevolen om een pluisvrije doek te gebruiken om oxide- en keramische doelen schoon te maken.
De vierde stap is het wassen van het doel met argon onder hoge druk en lage luchtvochtigheid om eventuele onzuivere deeltjes te verwijderen die een boog in het sputtersysteem kunnen veroorzaken.
4. Kortsluiting en dichtheidscontrole
Nadat het doel is geïnstalleerd, moet de hele kathode worden gecontroleerd op kortsluiting en dichtheid.Het wordt aanbevolen om te beoordelen of er sprake is van kortsluiting in de kathode met behulp van een weerstandsmeter en een megger.Nadat is bevestigd dat er geen kortsluiting in de kathode is, kan waterlekkage-inspectie worden uitgevoerd en kan water in de kathode worden geïntroduceerd om te bepalen of er sprake is van waterlekkage.
5, Verpakking en transport
Alle doelen zijn verpakt in vacuümverzegelde plastic zakken met vochtbestendig middel.De buitenverpakking is over het algemeen een houten kist met een antibotslaag eromheen om het doel en de achterplaat te beschermen tegen schade tijdens transport en opslag.
Posttijd: 15 juli 2022