Gesputterde molybdeendoelen worden op grote schaal gebruikt in de elektronica-industrie, zonnecellen, glascoating en andere gebieden vanwege hun inherente voordelen.Met de snelle ontwikkeling van moderne technologie op het gebied van miniaturisering, integratie, digitalisering en intelligentie zal het gebruik van molybdeendoelen blijven toenemen en zullen de kwaliteitseisen daarvoor ook steeds hoger worden.We moeten dus manieren vinden om de benuttingsgraad van molybdeendoelen te verbeteren.Nu zal de redacteur van RSM verschillende methoden introduceren om de benuttingsgraad van sputtermolybdeendoelen voor iedereen te verbeteren
1. Voeg een elektromagnetische spoel toe aan de achterkant
Om de benuttingsgraad van het gesputterde molybdeendoel te verbeteren, kan een elektromagnetische spoel worden toegevoegd aan de achterkant van het vlakke Magnetron-sputtermolybdeendoel, en het magnetische veld op het oppervlak van het molybdeendoel kan worden vergroot door de stroom te verhogen van de elektromagnetische spoel, om de bezettingsgraad van het molybdeendoel te verbeteren.
2. Selecteer buisvormig roterend doelmateriaal
Vergeleken met platte doelen benadrukt de keuze voor een buisvormige roterende doelstructuur de inhoudelijke voordelen ervan.Over het algemeen bedraagt de bezettingsgraad van platte doelen slechts 30% tot 50%, terwijl de bezettingsgraad van buisvormige roterende doelen meer dan 80% kan bedragen.Bovendien zal er bij gebruik van het roterende Magnetron-sputterdoel met holle buis, omdat het doel voortdurend rond de vaste staafmagneet kan draaien, geen herafzetting op het oppervlak plaatsvinden, zodat de levensduur van het roterende doel over het algemeen meer dan 5 keer langer is. dan die van het vliegtuigdoel.
3. Vervangen door nieuwe sputterapparatuur
De sleutel tot het verbeteren van de benuttingsgraad van doelmaterialen is het voltooien van de vervanging van sputterapparatuur.Tijdens het sputterproces van molybdeen-sputterdoelmateriaal zal ongeveer een zesde van de sputteratomen zich afzetten op de wand of beugel van de vacuümkamer nadat ze zijn geraakt door waterstofionen, waardoor de kosten van het reinigen van de vacuümapparatuur en de uitvaltijd toenemen.Het vervangen van nieuwe sputterapparatuur kan dus ook helpen de benuttingsgraad van sputtermolybdeendoelen te verbeteren.
Posttijd: 24 mei 2023