Scheuren in sputtertrefplaten komen meestal voor bij keramische sputtertrefplaten zoals oxiden, carbiden, nitriden en brosse materialen zoals chroom, antimoon en bismut.Laat de technische experts van RSM nu uitleggen waarom het sputterdoel barst en welke preventieve maatregelen kunnen worden genomen om deze situatie te voorkomen.
Keramische of brosse materiaaldoelen bevatten altijd inherente spanningen.Deze interne spanningen worden gegenereerd tijdens het beoogde fabricageproces.Bovendien worden deze spanningen niet volledig geëlimineerd door het uitgloeiproces, omdat ze inherente kenmerken zijn van deze materialen.Tijdens het sputterproces brengt het bombardement van gasionen hun momentum over op de doelatomen, waardoor ze voldoende energie krijgen om ze van het rooster te scheiden.Deze exotherme momentumoverdracht zorgt ervoor dat de doeltemperatuur stijgt, die op atomair niveau 1000.000 ℃ kan bereiken.
Deze thermische schokken verhogen de bestaande interne spanning in het doel vele malen.In dit geval kan het doel breken als de warmte niet goed wordt afgevoerd.Om te voorkomen dat het doel barst, moet de nadruk worden gelegd op warmteafvoer.Er is een waterkoelingsmechanisme nodig om ongewenste warmte-energie van het doel te verwijderen.Een ander probleem waarmee rekening moet worden gehouden, is de toename van het vermogen.Te veel stroom die in korte tijd wordt toegepast, zal ook een thermische schok voor het doel veroorzaken.Daarnaast stellen we voor om deze doelen aan de backplane te binden, wat niet alleen ondersteuning voor het doel kan bieden, maar ook een betere warmte-uitwisseling tussen het doel en het water kan bevorderen.Als het doel scheuren vertoont maar wel aan de achterplaat is gehecht, kan het nog steeds worden gebruikt.
Rich Special Materials Co., Ltd. kan sputterdoelen voorzien van een backplane.Het kan worden aangepast aan de eisen van de klant op het gebied van materiaal, dikte en verbindingstype.
Posttijd: 21 september 2022