Om de op film gebaseerde piëzo-elektrische MEMS (pMEMS) sensor- en radiofrequentie (RF) filtercomponentenindustrie te ondersteunen, wordt de aluminium scandiumlegering vervaardigd door Rich Special Material Co., Ltd. speciaal gebruikt voor de reactieve afzetting van met scandium gedoteerde aluminiumnitridefilms .
Dunne-film piëzo-elektrische materialen worden steeds vaker gebruikt in auto-, industriële en persoonlijke elektronische apparatuur.Toepassingen zijn onder meer pmt-gebaseerde vingerafdruksensoren en apparaten voor gebarenherkenning, MEMS-microfoons, op resonatoren gebaseerde chemische sensoren en medische sensoren.Bovendien zijn scandium-gedoteerde aluminiumnitridefilms steeds vaker nodig om RF-filters voor 5G-netwerktoepassingen te realiseren.Tegelijkertijd neemt de hoeveelheid aluminium-scandiumlegering toe.
Eigenschappen van Al Sc-legering
Zeer consistente chemische homogeniteit door de hele legering
Zeer consistente filmchemische homogeniteit gedurende de hele levensduur van de chip en legering
Zuiverheid>99,9%, laag zuurstofgehalte, laag kritisch gehalte aan verontreinigende stoffen
Controleer strikt de microstructuur om de beste sputterprestaties te bereiken
Vacuümgegoten, volledig dichte legering met lage hechting, lage variabiliteit en lage korreligheid
Rich Special Material Co., Ltd. ondersteunt een verscheidenheid aan legeringen, maatwerk en R&D-diensten.
Posttijd: 11 november 2022