Het sputterdoel van een titaniumlegering en het titaniummetaal zijn samengesteld uit titanium, dus de informatie is ongeveer hetzelfde, maar het verschil tussen de twee ligt voornamelijk in het feit dat het sputterdoel van de titaniumlegering op verschillende manieren is gemaakt van titaniummetaal, en titanium komt in de natuur voor als een titaniumerts. Titaniumlegeringsdoelen kunnen op grote schaal worden gebruikt in veel beroepscategorieën. Nu heeft de auteur van Beijing Richmat een aantal veel voorkomende titaniumlegeringsdoelen samengevat in termen van het gebruik van de situatie om ons een gedetailleerde introductie te geven.
一、Ti-doelen voor geïntegreerde schakelingen
De vereisten voor het sputteren van doelen van titaniumlegeringen zijn verschillend tussen niet-geïntegreerde schakelingen en geïntegreerde schakelingen.Over het algemeen stellen geïntegreerde schakelingen hogere eisen aan coatinggegevens, zoals hogere zuiverheid, kleinere korrelgrootte en nauwkeurigere schaalnauwkeurigheid. De zuiverheid van titaniumdoelen in geïntegreerde schakelingen is groter dan 99,995%, wat hoger is dan die gebruikt in niet-geïntegreerde schakelingen circuits, wat aangeeft dat de verschillende toepassingen van titaniumdoelvereisten zeer verschillend zijn.
二、Ti target voor flatpaneldisplay
Doelen van titaniumlegeringen die worden gebruikt in platte beeldschermen zijn onder meer LCD-schermen, plasmaschermen, elektroluminescentieweergave en veldemissieweergave. De dunne film van platte beeldschermen is de sputtervormmethode, Al, Cu, Ti en Mo zijn de belangrijkste metalen sputterdoelen voor platte beeldschermen. displays. De zuiverheid van doelen van titaniumlegering voor platte beeldschermen is gewoonlijk groter dan 99,9%.
三、Ti-doelen voor decoratieve materialen
Doelmateriaal van zeer zuivere titaniumlegering heeft een uitstekende weerstand tegen luchtcorrosie, langdurig gebruik in de lucht verandert niet van kleur, om ervoor te zorgen dat de oorspronkelijke kleur van titanium en menselijk contact niet allergisch is en andere uitstekende eigenschappen.Daarom kan titanium met een hoge zuiverheid de afgelopen jaren ook worden gebruikt als decoratieve materialen, zoals armbanden, horloges en brillen en andere ornamenten met een zuiverheid van titanium die het 5N-niveau heeft bereikt.
四、Ti-doelen voor ultrahoge vacuümpompsystemen
Als chemisch actief metaal kan titanium bij hoge temperaturen met veel elementen en verbindingen reageren.Het doel van een zeer zuivere titaniumlegering heeft een sterk adsorptievermogen voor actieve gassen (zoals O2, N2, CO, CO2, waterdamp boven 650 ° C) en de Ti-film die op de pompwand verdampt, kan een oppervlak vormen met hoge adsorptieprestaties .Deze eigenschap zorgt ervoor dat Ti op grote schaal wordt gebruikt als getter in ultrahoogvacuümgasextractiesystemen. Als het wordt gebruikt om de pomp, sputterionenpomp, enz. Te verbeteren, kan het de uiteindelijke werkdruk van de sputterionenpomp zo laag maken als 10-9PA
Posttijd: 25 april 2022